高精度
PA精度:±1.5um @3σ,角度:±0.2°@3σ;
BA精度:±1.5um @3σ,角度:±0.2°@3σ;
重复定位精度 :±0.5μm @3σ;
高精密直线电机;
二次定位平台,确认精度及角度。
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左右双晶圆台
左/右双晶圆台:支持2个8寸蓝膜/2个6寸蓝膜/
4个2寸华夫盒/2寸 GEL-Pak;
支持双顶针系统。
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三吸嘴贴装
取晶邦头和固晶邦头均配置三吸嘴结构,可吸取三种不同物料
无需更换吸嘴,大大缩短了生产周期;
吸嘴数量>8只,具备计数功能、自检功能、自校准功能(高度)。
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