产品特色
高精度:精度:±3um @3σ(标准片1.5um);角度: ±0.1° @σ;
高速度:贴片周期≤4.5S(UPH≥800);
电子控制Pick/Bond Force,Bond Force最大2500g;
拥有自动换吸嘴功能,支持12个吸嘴自动更换;
配备5个顶针座,可兼容各种尺寸的Die;
自动邦头力校准功能;
自动换晶圆,最大支持12”晶圆,自动wafer-mapping功能;
双点胶画胶系统独立控制,胶量控制更加精准;
支持全自动化的inline联线生产模式,标配了半导体设备联机的SIGEM协议;
防尘等级做到Class100,保证生产稳定。