半导体设备有哪些?你知道多少?

发布于:2022-02-10

半导体设备即为利用半导体元件制造的电气设备。半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。

一颗小小集成ic,从设计方案到生产制造,依照全产业链阶段区划,能够分成 IC 设计方案、原材料、晶圆代工、机器设备、封装测试五个行业。 半导体设备分为:半导体前道制程设备(晶圆制程设备),半导体后道制程设备(半导体封测设备)。

晶圆制程设备:

单晶炉:熔化半导体原材料,拉单晶,为事后半导体元器件生产制造,出示单晶体的半导体晶坯。

气相外延性炉:为气相外延性生长发育出示特殊的加工工艺自然环境,完成在单晶上,生长发育与单晶晶相具备对应关系的层析结晶,为单晶沉下去完成作用变作基本提前准备。气相外延性即有机化学气相堆积的一种独特加工工艺,其生长发育层析的分子结构是单晶衬底的持续,并且与衬底的晶向维持相匹配的关联。

空气氧化炉:为半导体原材料开展空气氧化解决,出示规定的空气氧化气氛,完成半导体预估设计方案的空气氧化处理方式,是半导体生产过程的不能缺乏的一个阶段。
半导体设备
磁控溅射台:根据二极磁控溅射中一个平行面于靶表面的封闭式电磁场,和靶表面上产生的正交和磁场,把二次电子拘束在靶表面特殊地区,完成高离子相对密度和高效率能量的水解,把靶分子或分子结构高速传输磁控溅射堆积在衬底上产生塑料薄膜。

光刻机:在半导体板材上(硅片)表面匀胶,将掩免费模板上的图型迁移光刻技术上,把元器件或电源电路构造临时性“拷贝”到硅片上。

反映离子离子注入系统软件:平板电脑电级间释放高频率工作电压,造成百余μm厚的离子层,放进款式,离子髙速碰撞款式,完成化学变化离子注入和物理学碰撞,完成半导体的生产加工成形。

离子引入机:对半导体表面周边地区开展夹杂。

探针测试台:根据探头与半导体元器件的pad触碰,开展电力学检测,检验半导体的性能参数是不是合乎设计方案特性规定。

圆晶划片机:把圆晶,切成小块的Die。

半导体封测设备:

根据中国国际招标网数据统计,封测设备国产化率整体上不超过5%,个别封测产线国产化率仅为1%,大幅低于制程设备整体上10%-15%的国产化率。尤其是在封装最核心的几个设备,IC级的固晶机,焊线机,磨片机国产化率接近为零。

固晶机:包括LED固晶机、IC级固晶机等,普莱信智能的IC级固晶机打破国外品牌垄断,无论是速度、精度,还是稳定性完全娉美国外品牌,已获得华天、UTAC、华润微等封测巨头认可。

焊线机:焊线机一般是指超声波焊线机,按线材来区分,可分为金线机,铝线机和铜线机。

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